小流量測(cè)量分兩種情況，一種是以較高的精度測(cè)量流過(guò)細(xì)小管道的氣體或液體；另一種是測(cè)量流量非常緩慢的流體的流量。適合用來(lái)測(cè)量微小流量的常用氣體流量計(jì)有很多種，例如差壓式、浮子式、旋渦式、熱式等，其中有些氣體流量計(jì)既適合測(cè)量中、大流量，也適合測(cè)量微小流量，而另一些專門(mén)為測(cè)量微小流量而設(shè)計(jì)。以下介紹幾種比較常見(jiàn)的流量計(jì)供參考。
1、差壓式流量計(jì)：適合測(cè)量小流量的差壓式流量計(jì)主要是內(nèi)藏孔板差壓式流量計(jì)。這種流量計(jì)去別于由標(biāo)準(zhǔn)節(jié)流裝置為傳感器的流量計(jì)。首先是結(jié)構(gòu)上的差別，內(nèi)藏孔板是傳感器與變送器合為一體。第二個(gè)是管徑上的差別，內(nèi)藏孔板適用的管徑均小于50mm，典型的管道內(nèi)徑為10mm和20mm。第三個(gè)是測(cè)量準(zhǔn)確度上的差別，內(nèi)藏孔板可通過(guò)實(shí)流標(biāo)定的方法來(lái)保證測(cè)量準(zhǔn)確度，工況條件允許的情況下經(jīng)過(guò)實(shí)流標(biāo)定能達(dá)到1.5級(jí)的測(cè)量準(zhǔn)確度。
2、浮子流量計(jì)：浮子流量計(jì)也可以稱為轉(zhuǎn)子流量計(jì)，按材料分類(lèi)主要有玻璃管浮子流量計(jì)、金屬管浮子流量計(jì)。浮子流量計(jì)因?yàn)榫哂袎毫p失較小，測(cè)量范圍比較大的優(yōu)勢(shì)，成為了工業(yè)控制中常用的一種流量測(cè)量?jī)x表，另外浮子流量計(jì)還具有使用方便，兼容性強(qiáng)等優(yōu)勢(shì)。特別適宜低流速小流量的介質(zhì)流量測(cè)量。浮子流量計(jì)的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單、讀書(shū)直觀、壓力損失小、維修維護(hù)方便等特點(diǎn)。浮子流量計(jì)適用于測(cè)量通過(guò)管道直徑D<100mm的小流量，經(jīng)特殊處理后也可以測(cè)量腐蝕性介質(zhì)的流量。
3、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)：熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的主要特點(diǎn)是直接測(cè)量質(zhì)量流量無(wú)需溫壓補(bǔ)償。無(wú)活動(dòng)部件，壓力損失小，可靠性高?？蓽y(cè)量低流速微小氣體流量。要求氣體介質(zhì)干燥潔凈，不含水分、油等雜質(zhì)。插入式熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)同樣適用于中、大口徑氣體流量的測(cè)量。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)的量程比寬500:1，可根據(jù)用戶實(shí)際需要擴(kuò)展?？蓪?shí)現(xiàn)大管徑小流量的測(cè)量，小流量下限可測(cè)低至流速為0.5Nm/s。